超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵和活性炭过滤器等。超纯水制备过程需要检查设备是否完好，无漏油现象。在检查完成后，打开原水阀，并逐步启动原水泵和高压泵。观察每个过滤设备的进出口压力差，以确保在0.1MPa以内，同时控制RO进出流量，使产出的电导率低于20uS/cm。
在使用超纯水时，开启增压泵，并控制混床进出压力及精密过滤器压力，以确保出水的电阻率大于10MΩ·cm。在整个过程中，要注意观察存储池中的存量，不要抽空。此外，为防止影响树脂寿命，一定要控制村级供给箱中的浮动层以下。
使用完毕后关闭总电源，并关闭原、自来用线与超纯用线，以防倒流损坏设备。
超纯水制备的基本原理是通过多个阶段进行处理：
初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。
蜂房过滤主要去除大于10um的悬浮颗粒。
活性炭主作用是去除氯气和小分子有机物。
压缩活性炭进一步提高了吸附能力，对其余氯气和小分子有机物进行深度除去。
保安過濾則再次從未過濾之處去除大於5um之凝聚胶体與悬浮颗粒，以確保最终产品质量要求得到滿足。
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