超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程在设备生产操作中需要检查设备无异象，并确保各连接管之间封闭无漏。打开原水阀并开启总电源，然后逐步开启原水泵和高压泵，观察设备运行情况，确保每个过滤设备进出口水压差小于0.1MPa，并控制RO进出流量及产出的电导率。
在装用超纯水时需开启增压泵并打开第一个出水阀，同时控制混床进出及精密过滤器的压力，以保证出液的电阻率大于10MΩ·cm。在使用完毕后应关闭所有关门，以防倒流损坏设备。
超纯水制备原理主要涉及三种过滤器：蜂房、活性炭和保安。其中蜂房去除大于10um的颗粒；活性炭利用吸附作用去除余氯气和小分子有机物；而压缩活性炭则进一步深度去除这些物质以满足反渗透要求。而最后一道保安过滤器则进一步去除大于5um的颗粒，使得最终产品更符合要求。
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