超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，其电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。设备包括原水泵、高压泵和活性炭过滤器等。超纯水制备过程需要检查设备无异常，并确保各连接管之间封闭，以防止滴漏。在操作中，需逐步开启原水泵和高压泵，同时控制RO进出水的压力范围内，以保证产出的电导率小于20uS/cm。此外，还需注意观察混床中的存水情况，并关闭好总电源以防倒流损坏设备。
超纯水制备的原理涉及三个阶段：
初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。
蜂房过滤器主要去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒。
活性炭过滤器利用其良好的吸附作用去除余下氯气和小分子有机物。
压缩活性炭进一步深度地除去这些杂质，保证反渗透后的要求。
保安过滽再次去除大于5um的凝聚胶体与悬浮颗粒，进一步提高质量标准。
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