超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，其电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程在设备操作时需要检查是否有异常，以及各连接管之间是否封闭，以防止漏水。在检查完设备后，打开原水阀并开启总电源开关，然后逐步开启原水泵和高压泵，并观察设备运行情况，确保每个过滤设备进出口的压力差小于0.1MPa，同时控制RO进出浓出的流量和压力，使得RO产出的电导率低于20uS/cm。
在装用超纯水时需打开增压泵并第一个出水阀，而要注意混床进出及精密过滤器的压力，以保证出流的电阻率大于10MΩ·cm。此外，还需注意存储的情况，不允许抽空以免影响混床树脂寿命。在使用完成后关闭所有门户以防自来水或空气倒流损坏装置。
超纯水制备过程分为三阶段：
初步吸附过滤阶段由蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器以及保安过滤器组成。
蜂房过滤器主要去除大于10um的凝聚胶体与悬浮颗粒。
活性炭通过其良好的吸附作用去除余下氯气和小分子有机物。
压缩活性炭利用更强吸附能力进一步从原液中除去氯气和小分子有机物，为反渗透准备。
保安過濾最終從原始液體中去除大於5um的小顆粒與悬浮颗粒，加強反渗透純度要求。
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