超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。在设备生产操作时，需要检查设备无异象，各连接管封闭无漏。打开原水阀，逐步开启原水泵和高压泵，在保证每个过滤设备进出口水压差在一定范围内的情况下运行。
控制RO产水流量、回流流量、浓水流量，使RO产水电导率小于20uS/cm。当装用超纯水时开启增压泵，并控制混床进出水及精密过滤器压力，以确保出水电阻率大于10MΩ·cm。注意观察纯水槽存储情况，不抽空，以防影响混床树脂寿命。在使用完毕后关闭总电源和阀门，以防自来水倒流损坏设备。
超纯-water制备的过程包括三个阶段：蜂房过滤器去除大于10um的颗粒；活性炭过滤器利用吸附作用除去余氯气和小分子有机物；压缩活性炭进一步深度除去这些物质；最后保安过滤器去除大于5um的颗粒，确保最终产品质量要求。
