超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。其中，超纯水的中文名是电导率小于20微西莫斯/cm，电阻率大于10兆欧姆·厘米。设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。在操作过程中，首先要检查设备是否有异常，并确保各连接管之间封闭无漏。
在开始操作前，要打开原水阀并开启总电源，然后逐步启动原水泵和高压泵。在启动过程中需要观察设备运行情况，以及每个过滤设备进出口水的压力，以保证压力差在0.1兆帕斯卡以内。此外，还需控制RO进出水、中段浓水的压力范围，同时监控RO产出的电导率，确保其低于20微西莫斯/cm。
当使用完毕后，要关闭总电源、原水入流阀及超纯出流阀，以防止自来水倒流回过滤系统内损坏设备。在整个制备过程中，也要注意观察存储池中的液体水平，不得抽空，以免影响混床树脂寿命。
至于超纯水制备的原理，它主要包括初步吸附过滤三阶段。第一阶段为蜂房过滤器、活性炭过滤器等，其作用是去除大于10微米粒径颗粒物；第二阶段为活性炭与压缩活性炭过滤器，其作用是通过吸附从原始water中去除余氯气和小分子有机物；第三阶段则是最后一道保安过滤器，它负责进一步去除5微米以上颗粒物，为最终产品提供更高质量要求。
