超纯水制备的三个关键阶段：初步吸附过滤、反渗透净化以及树脂离子交换。在这些过程中，超纯水的电导率需低于20uS/cm，而其电阻率则应高达10MΩ·cm。为实现这一目标，我们需要一系列精密设备，如原水泵、高压泵以及活性炭过滤器等。
在操作过程中，我们首先要检查所有设备是否完好无损，并确保各个管道之间没有漏液。此后，我们打开自来水阀并启动总电源，然后逐步开启原水泵和高压泵。一旦设备正常运行，我们需要监控每个过滤设备的进出口压力，确保它们都在预设范围内（小于0.1MPa）。此外，还需控制RO进水、中段和浓流中的压力，以达到要求，同时调整RO产水流量、回流流量和浓流流量，使得产出的超纯水电导率保持在20uS/cm以下。
当我们准备使用超纯水时，需要启动增压泵并打开第一个出水阀。在这个过程中，要注意观察混床进出及精密过滤器的压力，以及混床出料的压力，这些均需保持在一定范围内，以确保最终产品具有大于10MΩ·cm的电阻率。为了防止存储容量过多导致质量下降或影响树脂寿命，必须保证村池中的浮漂位置以下。此次操作完成后，要关闭总电源、原水入射阀及超纯出射阀，以避免自来 水与空气倒流进入过滤系统内，从而保护设备不受损害。
至于超纯制备的理论基础，它主要包括三个阶段：蜂房过滤、活性炭过滤、压缩活性炭处理以及最后一道保安过滤。其中，每一步都有其独特作用：
① 蜂房過濾器主要去除大於10um 的凝聚胶体与悬浮颗粒。
② 活性炭過濾器則利用活性炭本身良好的吸附作用將含有余氯氣與微分子有機物的小分子物質從純化過程中截留並帶走。
③ 压缩活性炭過濾器更进一步地通過比活性炭更強大的吸附能力對剩餘氯氣與微分子有機物進行深度處理以滿足反渗透前處理標準。
④ 最後一個環節，即保安過濾器，其功能是最後一次去除大於5um 的凝聚胶体與悬浮颗粒，此舉確保了最终产品满足极高标准。
