首先，应用特定的高能、高臭氧的UV紫外线光束来照射废气，这样有机或无机高分子化合物中的分子链就会在高能紫外线的作用下发生变化，最终转化为低分子的物质，如二氧化碳和水。
其次，在空气中利用高能UV紫外线光束与氧分子相互作用，生成游离氧，即活性氧。由于活性氧携带的正负电子不平衡，它需要结合其他的氧原子才能稳定，因此会与另外一个氧分子反应产生臭氧。这个过程是：UV光与O2反应生成O-（活性氢）和O*（活性氮），然后O*再与另一个O2反应生成臭氧(O3)。众所周知，臭 ozone 对于有机物具有极强的oxidation能力，对于工业废气及刺激性的异味效果显著。
接着，将经过排风系统收集到的工业废气输入到这台净化设备中，然后通过使用高能UV紫外线光束和臭 ozone 的协同作用对工业废气进行处理，使得这些污染物能够被有效降解转变成低分子的化学组成，再通过排风管道排放到大自然环境中。
这种技术具有除去恶臭、无需添加任何化学品、安全可靠、高效节能、占地面积小、轻便等优点，而且它可以彻底去除工业废气中的有害物质，同时达到良好的脱臭效果。一旦经历了处理后的工业废气，就可以安全地释放到环境中，不会造成二次污染，并且同时具备消毒杀菌功能。这款设备已经获得国家防爆电器产品质量监督检验中心颁发的Ex防爆认证证明，它们都是符合严格标准并经过测试验证的。
此类设备特别适用于VOCs等恶劣气体脱酸净化处理，以及油田、炼油厂、橡胶厂、皮革厂、油漆工场、大型化学工场、小型制药厂印刷工场以及污水处置站和垃圾转运站等行业。
