首先，应用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，使得有机或无机高分子恶臭化合物分子链在高能紫外线光束的作用下发生降解，转变成低分子化合物，如二氧化碳和水。其次，在空气中利用高能UV紫外线光束激发氧分子的游离，使之产生活性氧，即含有正负电子不平衡的O-和O*。随后，这些活性氧与其他氧分子结合生成了臭氧：UV+O2→O-+O*（活性氧）, O+O2→O3（臭氧）。众所周知，臭 ozone具有极强的催化能力，对于产业废气中的异味具有立即显著效果。
当将这种处理设备连接到排风系统中，将污染废气输送进净化装置，然后通过高能UV紫外线光束和臭 ozone协同作用进行化学反应，使得产业废气能够被有效降解转换为低分子物质和水，再通过排风管道安全释放到环境中。
此技术以其独特优势而受到青睐：无需添加任何辅助剂、操作简便、高效、稳定可靠、运营成本低廉且占地面积小轻巧。此外，它还具备彻底去除工业废气中的有害物质并达到良好的脱毒净化效果，同时不会导致二次污染，并且具有一定的消毒杀菌功能。这些设备设计有防爆性能，并已获得国家防爆电器产品质量监督检验中心的Ex防爆认证。
因此，该设备广泛应用于VOC类恶臭gas等脱毒净化领域，如油田、炼油厂、橡胶厂、皮革厂、油漆工场等多个行业，以确保工作环境更加清新健康。
