超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。这些过程确保了最终产品的电导率低于20uS/cm，电阻率高达10MΩ·cm。设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。在运行时，需要监控各个连接点以防止漏水，并确保每个过滤设备之间的压力差在0.1MPa以内。此外，还需控制RO系统中的流量和压力，以达到要求。使用完毕后，应关闭所有电源并关上进出水阀，以防止自来水或空气倒流损坏设备。
超纯水制备的原理涉及到多个步骤：
初步吸附过滤阶段包含蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器以及保安过滤器。
蜂房过滤器主要用于去除大于10um的颗粒物。
活性炭過濾器通過活性的碳材料來捕捉余氯氣與小分子有機物。
壓縮活性炭過濾器則利用更強大的吸附能力從原水中更深層次地去除氯氣與小分子有機物。
保安過濾器是最後一道關卡，它通過物理方法將大於5um的顆粒物截留，使得反渗透純化后的液體達到一定標準。
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