超纯水的制备过程通常分为三个关键阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。这些阶段共同确保了最终产品的电导率低于20uS/cm，并且电阻率高达10MΩ·cm。
在操作设备时，首先要进行全面检查，以确保所有连接无漏洞，并打开原水阀及总电源开关。在启动原水泵和高压泵后，需要观察设备运行情况，特别是各个过滤器进出水的压力差应保持在0.1MPa以内。此外，还需控制RO系统中的流量和压力，以达到要求并保持产水质量。
在装载超纯水时，要打开增压泵及第一个出水阀，同时注意混床进出以及精密过滤器的压力控制，以保证出水品质。此外，必须监控存储槽中的存量，不得抽空以防影响混合床树脂寿命。使用完毕后，要关闭总电源及原、纯两种液体入口/出口阀门，以防止自来水或空气倒流损坏设备。
超纯水的制备原理包括三大步骤：
初步吸附过滤阶段涉及蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。
蜂房过滤主要去除大于10um粒径物质。
活性炭通过其良好的吸附作用去除余氯气与小分子有机物。
压缩活性炭进一步提高了排除能力，为接下来的反渗透准备。
保安最后一步去除了大于5um粒径物质，为最终产品打底。
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