超纯水制备的三个关键阶段：初步吸附过滤、反渗透净化以及树脂离子交换。在这些过程中，电导率低于20微西莫斯每厘米（uS/cm），电阻率高达10兆欧姆·厘米（MΩ·cm）。设备包括原水泵、高压泵以及活性炭过滤器等。生产过程中，首先要检查设备是否完好无损，并确保各个连接处密封良好，以防止漏水。
在操作过程中，要逐步打开原水泵和高压泵，并观察设备运行情况，确保每个过滤设备进出口的压力差都在0.1兆帕斯卡以内，同时控制RO系统中的流量和压力，以便最终产出的超纯水具有低于20uS/cm的电导率。
当需要使用超纯水时，需启动增压泵并打开出水阀门，同时控制混床进出水的压力和精密过滤器的压力，以及混床出水的压力，以保证出water 的电阻率达到或超过10MΩ·cm。此外，还需注意观察储存池中的液体水平，不得抽空，以免影响混合床树脂寿命。使用结束后应关闭总电源及相关阀门，以防止自来水或空气倒流进入过滤系统并损坏设备。
超纯水制备背后的科学原理主要涉及到三个初步吸附过滤阶段：蜂房过滤器、活性炭过滤器、壓縮活性炭過濾器以及保安過濾器。其中：
蜂房過濾器主要作用是去除大於10微米的小颗粒物。
活性碳過濾器通过其强大的吸附能力捕获余下的氯气和小分子的有机物质，从而提高反渗透前的质量要求。
壓縮活性碳過濾器进一步利用更強大的吸附力量从原來的純淨飲用雨林內去除更多含有的氯氣與小分子有機物質。
最後一道保安過濾層則進一步去除大於5微米的小顆粒物質以確保最終產品品質符合標準要求。
