超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。电导率小于20uS/cm，电阻率大于10MΩ·cm。在设备生产操作中，需要先检查设备无异常，各连接管是否封闭，以防止滴漏。打开原水阀并开启总电源后，逐步开启原水泵和高压泵，在机器旁观察设备运行情况，并控制每个过滤设备进出口水压差在一定范围内，小于0.1MPa。此外，还需控制RO产水流量、回流流量和浓水流量，使得RO产出的电导率小于20uS/cm。使用完毕后，关闭总电源、原水进口阀及超纯出水阀，以防自来水倒流损坏设备。
超纯水制备的原理涉及到三种过滤技术。一是蜂房过滤器等初步吸附过滤阶段，它们主要去除大于10um的颗粒物；二是活性炭过滤器等，它们利用良好的吸附能力截留余氯气、小分子有机物；三是压缩活性炭过滤器等，它们进一步通过更强的吸附作用从原水中除去余下的有害物质；最后是保安过滤器，这一步骤会去除大于5um的颗粒物，为最终产品提供清洁保障。
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