超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程需要检查设备无异常，每个连接部分封闭无漏。开启原水阀和总电源后逐步启动原水泵和高压泵，并观察设备运行是否正常。此时需控制每个过滤设备的进出口压力差小于0.1MPa，以及RO进出浓流的压力在要求范围内，以确保产出的超纯水电导率低于20uS/cm。
装用超纯水时开启增压泵并打开第一个出水阀，注意混床进出及精密过滤器的压力，以保证出液电阻率大于10MΩ·cm。在此期间需注意存储情况，不抽空，同时防止存储太多影响混床树脂寿命。
使用完毕后关闭总电源和输入输出阀门以防自来水或空气倒流损坏设备。超纯水制备主要由三种类型的过滤器组成：蜂房、活性炭、压缩活性炭及保安过滤器。这三种過濾器分別去除大於10um淨浮固體、大型有機物及氯氣與小分子有機物，小至5um淨浮固體，其作用是為了確保最终产品达到要求。
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