超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。其中，超纯水的中文名是电导率小于20uS/cm，电阻率大于10MΩ·cm。
在设备生产操作中，我们需要先检查整个设备是否有异象，并确保各连接管之间没有漏水。在检查完设备后，我们打开原水阀并开启总电源，然后逐步开启原水泵和高压泵。在高压泵启动后，我会停留在机器旁边观察一段时间，看看设备运行是否正常。我还需要观察每个过滤设备进出口的压力，使得每个过滤设备进出口的压力差都在一定范围内（小于0.1MPa）。此外，我还需要控制RO进水、中段、浓水的压力，使其保持在要求范围内，同时控制RO产水流量、RO回流流量和浓流流量，以确保RO产出的电导率低于20uS/cm。
当装用超纯水时，我会开启增压泵并打开第一个出水阀。我需要注意控制混床进出water pressure及精密过滤器pressure及混床出water pressure，这样可以保证出water 的electric resistance大于10MΩ·cm。此外，我还要注意观察pure water tank中的存water情况，不要抽空！同时为了防止存water太多影响mix bed resin life cycle，我会控制mix tank中的water level在float以下。
使用完毕后我会关闭好总电源，关闭原water 进入系统和super pure water 出口系统，以防止自来 水或空气倒流进入filter equipment 中损坏它。
