超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。其中，超纯水的中文名是指电导率小于20uS/cm，电阻率大于10MΩ·cm。在设备准备过程中需要检查设备是否完好无损，并打开原水泵、高压泵等设备，以确保整个制备过程顺利进行。在运行过程中，要注意观察每个过滤设备的进出口水压力，以及控制RO产水流量、回流流量和浓水流量，使得RO产出的电导率低于20uS/cm。使用完毕后要关闭总电源及相关阀门，以防止自来水倒流进入过滤设备。
超纯水制备的原理主要包括以下几个方面：
初步吸附过滤阶段，这里包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。
蜂房过滤器主要作用是去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒。
活性炭过滤器利用其良好的吸附能力，将余下的氯气和小分子有机物截留在其上，并随着废弃材料一起去除。
压缩活性炭通过更强的吸附作用，从原水中深度地除去氯气和小分子有机物，为反渗透提供更优质的入料条件。
保安過濾器則在最後一步從原來之後去除大於5um 的凝聚膠體與懸浮顆粒，進一步保障反渗透后的純淨程度。
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