超纯水制备的三个关键阶段：初步吸附过滤、反渗透净化以及树脂离子交换。这些过程确保了最终产品的电导率低于20uS/cm，电阻率高达10MΩ·cm。
在操作设备时，我们首先检查设备是否完好无损，并确保所有连接处没有泄漏。在启动原水泵和高压泵后，我们观察各个过滤器和系统运行情况，包括活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器以及其他重要部件。我们必须控制每个部分之间的水压差小于0.1MPa，以及RO进水、中段和浓水的压力范围内，同时监控产水流量、回流流量和浓水流量，以确保超纯水质量。
在装配超纯水时，我们需要打开增压泵并打开第一个出水阀门，注意控制混床进出water pressure及精密过滤器pressure以保证出water quality。同时要注意观察存储池中的液体水平，不得抽干；为了防止存液太多影响树脂寿命，我们应保持村池中的液体水平低于浮动面。此外，在使用完毕后应关闭总电源并关掉原water inlet 和super pure water outlet，以防止自来water 和空气倒流进入系统破坏设备。
至于超纯制备原理，它主要涉及三个阶段：
初步吸附过滤包含蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭過濾機及保安過濾機。
蜂房過濾機去除大於10um的凝聚物與悬浮颗粒。
活性碳過濾機利用其良好的吸附特性去除余下的氯氣與小分子有机物。
壓縮活性碳過濾機則通過比活性碳更強大的吸附能力來更深度地從原始 水中除去氯氣與小分子有机物，確保反渗透前的質量要求。
保安過濾機則是最後一步，用於去除大於5um 的凝聚物與悬浮颗粒，並進一步確保反渗透后的質量要求。
