超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，其电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程在设备生产操作中需要检查设备无异象，各连接管之间封闭无漏，并打开原水阀及总电源开关，然后逐步开启原水泵和高压泵。在运行期间需观察进出每个过滤设备的压力，以及控制RO产水流量、回流流量和浓流，以确保RO产水电导率小于20uS/cm。
在装用超纯水时，需开启增压泵并打开第一个出水阀，同时控制混床进出及精密过滤器压力，以保证出水电阻率大于10MΩ·cm。在使用完毕后应关闭总电源及原、净两种液体的阀门，以防倒流损坏设备。
超纯水制备的原理包括初步吸附过滤阶段，其中蜂房过滤器去除大于10um颗粒，小分子有机物通过活性炭被截留，随之带走；活性炭利用其强吸附作用从原始中除去余下的氯气和小分子有机物；最后是保安过滤器进一步去除大于5um颗粒，为反渗透提供更好的前提条件。
