超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵和活性炭过滤器等。水压差应小于0.1MPa。制作过程分三步骤。
在操作设备时，首先检查整个系统是否完好无损，并确保各连接部分密封良好，以防止漏水。在检查完成后打开自来水阀门，并启动总电源开关，然后逐渐启动原水泵和高压泵。在设备运行一段时间后，观察其正常运行情况，包括每个过滤设备进出口的流体压力，以及控制RO进出中段浓淡液体的压力范围内，同时需要控制产出流量以保证RO产出的电导率低于20uS/cm。
当装填超纯水时，将增压泵启动并打开第一个出水阀门，同时要注意混床进出以及精密过滤器的流体压力范围，以保证输出的电阻率大于10MΩ·cm。此外，还需注意监控储罐中的存量，不得抽空，以免影响混床树脂寿命。使用完毕后，请关闭总电源、原水入口及超纯出口阀门，以防止自来或空气倒流进入过滤系统损坏设备。
至于超纯水制备原理，它主要涉及以下几个方面：
初步吸附过滤阶段包含蜂房、活性炭、压缩活性炭以及保安过滤器。
蜂房主要去除大于10um的大颗粒物。
活性炭通过自身强大的吸附作用去除余氯与微量有机物质。
压缩活性炭进一步提高了这一效果，使之更深度地清除残留氯气与微量有机物质，为反渗透提供优质入料条件。
保安过滤器则是最后一步，在一定程度上去除了5um以上颗粒物，加强了反渗透产品质量要求。
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