超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程需要检查设备无异常，每个连接部分封闭无漏。开启原水阀和总电源后逐步启动原水泵和高压泵，并观察运行是否正常。控制每个过滤设备的进出口压力差在0.1MPa以内，同时控制RO进出流量，以保证产出的电导率小于20uS/cm。
装用超纯水时需打开增压泵并第一个出水阀，注意混床进出及精密过滤器的压力，以保证出流的电阻率大于10MΩ·cm。在使用完毕后关闭所有开关防止自来水倒流损坏设备。
超纯水制备的原理分为三部分：初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。蜂房去除大于10um颗粒；活性炭去除氯气和小分子有机物；压缩活性炭进一步深度除去余下的污染物；保安再次去除5um以上颗粒，使得反渗透净化后的产品达到要求。
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