超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。其中，超纯水的中文名是指电导率小于20uS/cm，电阻率大于10MΩ·cm。在设备生产操作中需要检查设备是否完好无缺，并打开原水泵、高压泵等设备开启。控制各个过滤器进出口水压差在0.1MPa以内，确保产出的超纯水符合标准。
在使用过程中需要注意观察混床中的存水情况，不要抽空，以防影响树脂寿命。在使用结束后关闭所有电源和阀门，以防止自来水倒流损坏设备。
超纯水的制备原理包括初步吸附过滤阶段，其中蜂房过滤器去除10um以上的颗粒，活性炭过滤器去除余氯气和有机物，小型板框过滤机进一步深度去除这些物质。最后的是保安过滤器，将剩余5um以上的颗粒从原水中除去。这三种方法共同作用，使得最终产品达到极高洁净度。
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