超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程需要检查设备无异常，并确保各连接管之间封闭，以防止滴漏。在操作中，需逐步开启原水泵和高压泵，同时控制RO进水、中段、浓水的压力，以及RO产水流量、回流流量和浓水流量，以保证出水电导率小于20uS/cm。
在装用超纯水时，需打开增压泵并控制混床进出water pressure及精密过滤器pressure及混床outwater pressure在要求范围内，以保证出water resistance大于10MΩ·cm。此外，还需注意观察pure water槽中的存water情况，不要抽空，以防影响mixing tank resin life。此后，在使用完毕后关闭总电源并关闭原water入pipe and pure water out pipe以防自来water倒流到filter device内损坏device。
超纯water制备原理主要包括以下几个方面：
初步吸附过滤阶段由蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器组成，其中蜂房over filter去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒；活性carbon over filter利用其良好的absorption作用去除余下氯气和小分子有机物；压缩active carbon over filter则利用比active carbon更强的absorption作用从original water中深度地除去余下氯气和小分子有机物；最后，保安over filter进一步从original water中去除大于5um的凝聚胶体和悬浮颗粒。
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