超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。超纯水制备过程需要检查设备无异常，每个连接部分封闭无漏。开启原水阀和总电源后逐步启动泵机，观察设备运行是否正常。在保证每个过滤器进出口压力差小于0.1MPa的情况下，控制RO进出流量，使产水电导率低于20uS/cm。
在使用超纯水时需打开增压泵，并控制混床进出及精密过滤器压力，以保证出水电阻率大于10MΩ·cm。在整个过程中应注意存储情况，不得抽空，以防影响混床树脂寿命。此外，在使用完毕后应关闭总电源和阀门以防倒流损坏设备。
超纯水制备的原理包括三个阶段：
初步吸附过滤阶段主要是去除大分子物质，如蜂房过滤器去除超过10um的凝聚胶体；活性炭过滤器利用自身吸附能力去除氯气和小分子有机物；压缩活性炭进一步提高吸附效果以达到更深层次净化。
反渗透净化阶段通过反渗透膜来截留剩余的大分子有机物，从而实现最终产品的清洁。
树脂离子交换阶段则是通过离子交换树脂来捕获剩余阳离子的氯气等，从而确保最终产品质量要求得到满足。
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