超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵和活性炭过滤器等。生产过程中需检查设备无异象，并确保各连接管之间封闭，以防止漏液。在操作时需先打开原水阀并开启总电源，然后逐步开启原水泵和高压泵，观察设备运行情况，确保每个过滤设备进出口水压差小于0.1MPa，并控制RO进出流量以保证产出的超纯水电导率低于20uS/cm。
在装用超纯水时需开启增压泵并打开第一个出水阀，同时控制混床进出流动及精密过滤器的压力，以保持出水的电阻率大于10MΩ·cm。在使用过程中需注意存储池中的存量，不要抽空，以免影响混床树脂寿命。此外，在使用完毕后应关闭总电源、原水入口及超纯水出口门户，以防自来新鲜或空气倒回系统损坏设备。
超纯水制备的基本原理涉及三个阶段：
初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器以及保安过滤器。
蜂房过滤器主要作用是去除大于10um的悬浮颗粒。
活性炭过滤器通过其良好的吸附能力从清洁后的流体中截留余下的氯气和小分子有机物。
压缩活性炭则进一步利用更强大的吸附特性深度去除这些物质，为接下来的反渗透净化准备条件。
保安过滽则是最后一步，它同样去除大于5um的大分子颗粒，对最终产品质量起着重要作用。
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