超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名为超纯水，其电导率低于20uS/cm，电阻率高于10MΩ·cm。
设备包括原水泵、高压泵和活性炭过滤器等。超纯水制备过程在设备操作时需要检查设备无异常，并确保各连接管之间封闭，防止滴漏。在检查完设备后打开原水阀并开启总电源开关，然后逐步开启原水泵和高压泵，在运行一段时间后观察设备是否正常运行，同时控制RO进出、浓流及产流量以保证产出的电导率小于20uS/cm。
使用完毕后关闭总电源并关闭原水进出阀，以防自来水倒流损坏设备。在超纯水制备的初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器以及保安过滤器。每个环节都有其特定的作用，如去除大于10um的凝聚胶体与悬浮颗粒，以及从原水中除去余下氯气和小分子有机物等，以保证最终产品的质量要求。
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