超纯水制备的三个阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。其中，超纯水的电导率需低于20uS/cm，电阻率应大于10MΩ·cm。在设备生产操作中，要检查设备无异常，确保各连接管封闭，并打开原水阀及总电源开关。需要观察设备运行情况，如进出水压力和流量，以保证每个过滤设备工作在一定范围内。
超纯水制备原理包括三个阶段：
初步吸附过滤阶段，包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。
蜂房过滤器主要去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒。
活性炭过滤器利用其良好的吸附作用截留余氯气和小分子有机物。
压缩活性炭更深度地除去余氯气和小分子有机物，为后续反渗透净化做准备。
保安过滽进一步去除大于5um的凝聚胶体和悬浮颗粒，为最终产品提供高品质。
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