按照来源，工业余热又可被分为:烟气余热，冷却介质余热，废汽废水余热，化学反应热，高温产品和炉渣余热，以及可燃废气、废料余热，具体占比及来源见下图与下表。其中烟气余热约占50%，主要为中高温余热，是的主要对象，采用+汽轮机的回收技术已非常成熟。另外冷却介质余热占20%左右，废水废气余热占11%，化学反应余热占8%，这三部分余热主要为中低温低品位余热，适合螺杆膨胀机技术。
图1、余热资源分布情况
表1、余热资源分类及来源
目前300度以上高、中温度水平的余热发电主要采用余热锅炉+汽轮机所组成的低温汽轮机发电系统，目前无论是设计还是装备制造，技术都已经比较成熟，已经在发电、钢铁冶金、建材、轻工等行业全面推广，如钢铁行业转炉余热发电、烧结余热发电，焦化行业干熄焦余热发电、新型干法水泥窑余热发电，玻璃、制陶制砖等建材炉窑烟气余热发电等。但目前300度以下低温余热只有少部分用于供热，发电等应用还很少，市场潜力巨大。
表2、高耗能行业余热发电渗透率及未来发展目标
